Physik Instrumente長(zhǎng)行程物鏡掃描儀

P-725.xCDE2 PIFOC

用于顯微鏡物鏡的高精度定位器和掃描儀

行程范圍達(dá) 800 µm

與電動(dòng)驅(qū)動(dòng)器相比，響應(yīng)速度明顯更快，使用壽命更長(zhǎng)

具有亞納米分辨率的物鏡精細(xì)定位

使用電容式傳感器進(jìn)行直接位置測(cè)量：高線性度

與 Metamorph® 成像軟件兼容

? 29 mm 大通光孔徑

Physik Instrumente長(zhǎng)行程物鏡掃描儀應(yīng)用領(lǐng)域

超分辨率顯微鏡

光盤顯微鏡

共聚焦顯微鏡

2光子顯微鏡

3D 成像

篩選

干涉測(cè)量法

測(cè)量技術(shù)

自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)

生物技術(shù)

半導(dǎo)體檢測(cè)

PICMA® 壓電執(zhí)行器具有出色的使用壽命

PICMA® 壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這可以保護(hù)它們免受因漏電流增加而導(dǎo)致的潮濕和故障的影響。PICMA® 執(zhí)行器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣執(zhí)行器長(zhǎng)十倍。已證明 1000 億次循環(huán)無(wú)一次故障。

具有電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，無(wú)需接觸。它們保證出色的運(yùn)動(dòng)線性度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。

零間隙撓性導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)高導(dǎo)向精度

撓性導(dǎo)軌免維護(hù)、免摩擦和免磨損，并且不需要潤(rùn)滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們?cè)诤軐挼臏囟确秶鷥?nèi)工作。

運(yùn)動(dòng)P-725.1CDE2P-725.4CDE2P-725.8CDE2寬容

活動(dòng)軸ZZZ 

Z 軸行程范圍100微米400微米800 微米+20 / -0 %

Z 軸行程，開(kāi)環(huán)120微米420微米840 微米±20%

Z 中的線性誤差0.01%0.01%0.02% 

偏航（θX 方向的旋轉(zhuǎn)串?dāng)_，Z 方向的運(yùn)動(dòng)）± 10 µrad± 10 µrad± 50 µrad 

音高（θY 方向的旋轉(zhuǎn)串?dāng)_，Z 方向的運(yùn)動(dòng)）± 10 µrad± 45 µrad± 50 µrad 

定位P-725.1CDE2P-725.4CDE2P-725.8CDE2寬容

Z 軸系統(tǒng)分辨率0.2 納米0.2 納米0.8 納米 

Z 軸分辨率，開(kāi)環(huán)0.1 納米0.1 納米0.4 納米類型。

Z 軸小增量運(yùn)動(dòng)1納米4納米5納米 

Z 軸 10% 步長(zhǎng)的穩(wěn)定時(shí)間14 毫秒22 毫秒39 毫秒±10%

Z 軸位置噪聲0.1 納米0.1 納米0.4 納米大限度。

集成傳感器電容式直接位置測(cè)量電容式直接位置測(cè)量電容式直接位置測(cè)量 

傳感器噪聲，1 西格瑪0.2 納米0.2 納米0.8 納米 

點(diǎn)重復(fù)性，10% 步長(zhǎng)，1 西格瑪10納米10納米50納米 

驅(qū)動(dòng)器屬性P-725.1CDE2P-725.4CDE2P-725.8CDE2寬容

驅(qū)動(dòng)器類型PICMA®PICMA®PICMA® 

Z 方向的電容3.2 µF6.4 µF12.8 µF±20%

機(jī)械性能P-725.1CDE2P-725.4CDE2P-725.8CDE2寬容

指導(dǎo)帶杠桿放大的撓性導(dǎo)軌帶杠桿放大的撓性導(dǎo)軌帶杠桿放大的撓性導(dǎo)軌 

Z 軸剛度0.5 牛頓/微米0.25 牛頓/微米0.07 牛/微米±20%

Z 軸共振頻率，負(fù)載 150 g290赫茲175赫茲110赫茲±20%

Z 軸諧振頻率，空載680赫茲400赫茲230赫茲±20%

物鏡直徑39 毫米39 毫米39 毫米大限度。

允許的 Z 軸推力100牛100牛100牛大限度。

Z 方向的許用拉力20牛20牛20牛大限度。

總質(zhì)量280 克280 克350 克±5%

材料不銹鋼、鋁不銹鋼、鋁不銹鋼、鋁